Плоча от силициев нитрид и метод на нейното производство

Име на патента:Субстрат от силициев нитриди неговия метод на производство и метода на производство на платка от силициев нитрид и полупроводников модул, използвайки плоча от силициев нитрид
Техническа област:
Настоящото изобретение включваСубстрат от силициев нитриди методите на неговото производство. В допълнение, изобретението включва използването на субстрати на вериги от силициев нитрид и полупроводникови модули, като се използват горнитеСубстрат от силициев нитрид.
Фонова техника:
През последните години, в полетата и други области на електрическите превозни средства, силовият полупроводников модул (модул за мощност на полупроводника) (IGBT, мощен MOSFET и т.н.), който може да работи с високо напрежение и голям ток. За субстрата, използван в силовия полупроводников модул, една повърхност на изолиращ керамичен субстрат може да се използва за комбиниране с метална платка, а керамичният субстрат с метална радиаторна плоча може да се използва на друга повърхност. В допълнение, полупроводникови елементи на металната платка и т.н. Комбинацията от гореспоменатите изолационни керамични субстрати с метални платки и метални радиатори, като така наречената медна основа на медна основа медна основа медна основа медна основа медна основа медна основа мед е директно свързана към правно. За такъв мощен полупроводников модул разсейването на топлината е по-голямо при протичане през големи токове. Въпреки това, тъй като гореспоменатата изолираща керамична подложка е с ниска топлопроводимост, тя може да се превърне във фактор, който възпрепятства разсейването на топлината на полупроводниковите компоненти. В допълнение, генерирането на топлинно напрежение се причинява от скоростта на термично разширение между изолационния керамичен субстрат и металната платка и металната радиаторна плоча. В резултат на това изолационният керамичен субстрат се напуква и разрушава, или металната платка или металното разсейване на топлината. Платката се отстранява от изолационния керамичен субстрат.